蔡慧媚28岁守寡,也成为姜家最年轻的寡妇,见证了姜家王朝最后一丝辉煌。
看着田旭东同学在足球场上纵横驰骋大杀四方,捧走了大力神杯成为了新一代球王,叶华功德圆满回到了台积电设置在氹仔岛的合作实验室搞研发。
前两年刚完成了浸入式光刻技术,现在叶华又要带领台积的供应商a光刻机研发部门进入euv极深紫外时代。
a为叶华旗下的高通、华技、台积电、东方电子等半导体生产商光刻机及相关服务,scan系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向a采购scan机型,比如叶华旗下的高通、华技、海力士hynix、台积电tc、中芯国际ic等,同时也在各地成立了合作实验室。
a的产品线分为as系列、at系列、xt系列和nxt系列,其中as系列光源为高压汞灯光源,现已停产;at系列属于老型号,多数已经停产。市场上的主力机种是xt系列以及nxt系列,为arf和krf激光光源,xt系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而nxt系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。目前已经商用的最先进机型是scannxt1950i,属于沉浸式光刻机,用来生产关键尺度低于38纳米的集成电路。
a正在加紧研制基于极深紫外euv光源的新型光刻机,型号定为nxe系列。如果量产成功,将成为划时代的产品,有望将关键尺寸缩小至10n以下,并且可以显著提高集成电路质量。
众所周知,光刻是集成电路芯片制造的核心工艺。光刻机的成本占到了整个芯片生产的三分之一以上。而在光刻机的市场上,白婷在1977年就帮叶华注册的a公司,而如今占到了全球光刻机80以上的市场。
1960年代集成电路技术诞生后,最早的光刻工艺还不算什么尖端科技。叶华早期收购的仙童和ib这些第一代芯片公司都是自己设计光刻工具,只有gca,ks和kaser等少数公司开发一些独立的光刻设备。进入1970年代,光刻机成为不少米国公司竞争的焦点。先是kaser推出接触式光刻设备,但是很快,接触式被接近式机台所淘汰,因为掩模和光刻胶的接触会很容易带来污染。接下来erkere推出投影式光刻系统,迅速占领市场。
1978年,仙童的光刻部门剥离出去,并入了a公司,很快推出步进式光刻机,光刻机的分辨率达到了1微米。但是由于狌能问题,暂时没能撼动erker投影式光刻机的市场领先度,直到进入80年代后,a公司又推出更成熟的步进式光刻机nsr1010g,投影式光刻机的市场才开始萎缩。整个80年代上半期,尼康,gca也开始进入光刻机全球市场。
也是在这个时候,a总公司搬迁到了荷兰埃因霍温,推出scan系统和割命性的双段duasta技术,在对一块晶圆曝光的同时测量对准另外一块晶圆,从而大大提升了系统的生产效率和精确率。并投入全自动化生产和飞利浦展开竞争,飞利浦想象不到5年,叶华的a公司会发展这么迅猛,把他们挤得只有1的市场份额。1983年4月1日,a公司蛇吞象般收购了电子巨人荷兰飞利浦公司。
在仙童公司还未改名成外星人公司签,光刻部门最初只有31名员工。收购了飞利浦的a公司第一年,就推出了浸入式光刻技术。当然,这套系统并不是凭空而
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